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集成電路(DRAM)對EDI超純水設備產水水質的要求

日期:12-11-26 來源:原創 作者:zqyb-water

集成電路(DRAM)集成度

16K

64K

256K

1M

4M

16M

相鄰線距(μm)

4

2.2

1.8

1.2

0.8

0.5

細菌(CFU/100ML)

100

50

10

5

1

0.5

電阻率(MΩ.cm25)

16

17

17.5

18

18

18.2

TOC(ppb)

1000

500

100

50

30

10

DO(ppb)

500

200

100

80

50

10

Na+(ppb)

1

1

0.8

0.5

0.1

0.1

微粒直徑(μm)

0.4

0.2

0.2

0.1

0.08

0.05

微粒個數(PCS/ml)

100

100

20

20

10

10

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